ICS 105型集成电路扫描仪，可对集成电路和小型组件进行高频近场测量。根据使用的探头情况，可在 (50x50x50) mm 的空间范围内对磁场或电场进行测量，并在电脑上显示测量结果。此外，探头可自动旋转以确定磁场的准确方向。可选的 ICR 型近场微探头适用于 1.5MHz 至 6GHz 频率范围内的测量，空间分辨率可达 50μm。
主要技术参数：
- 电源电压：110V/230V
- 扫描范围：(50*50m*50)mm/α-旋转±180°
- 定位精度：(10*10*10)μm/α-旋转1°
- 定位速度：(10*10*5)mm/s/α-旋转90°/s
- 接口：USB
- 重量：23kg
- 尺寸：(350*400*420)mm
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